真空ハンドブック
本, アルバック
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詳細
- タイトル: 真空ハンドブック de アルバック
- ISBN: 4274087271
- ファイル名: 真空ハンドブック.pdf
- 発売日: 2002/7/1
- ページ数: 331ページ ページ
- 出版社: アルバック
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真空ハンドブック pdf無料ダウンロード - 内容（「BOOK」データベースより） 本書は、半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心として編集したものである。 内容（「MARC」データベースより） 半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心に編集する。超微粒子、カーボンナノチューブの節を新しく設け、日本工業規格の改訂等に対応した92年刊の新版。
真空ハンドブックを読んだ後、読者のコメントの下に見つけるでしょう。 参考までにご検討ください。
真空装置を設計するとして何か一冊といわれたら、迷わずこれを勧めます。少々高価ですが、これ一冊で充分と言える内容です。圧力、流量、コンダクタンス、熱などの単位換算、JISの抜粋、用語解説、記号、各種ポンプや真空計などコンポーネントの解説、コンダクタンスおよび排気速度計算、真空で用いられる材料、表面分析法、薄膜生成や表面加工などと一通り網羅されています。アルバックは日本最大の真空装置メーカーです。最近は「脱真空、脱装置」と装置産業からの脱却を計っていますが、本書は同社が真空装置産業のトップとしてまさに隆盛を極めている時代に書かれた本であり、充実した内容になっています。欠点を申せば、一部にアルバック独自の品番を使って汎用部品の解説をしているところがあり、この独自品番と汎用的な名称の変換がちょっと難しいかもしれません。また、基本的にハンドブックですので、これで、真空を学習しようなどということは出来ません。例えば、コンダクタンスの計算でどの式を使うか？といった類のことは、経験あるいは本書には書いていない別の知識が必要になります。
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